EtO Sterilization คือ เครื่องอบฆ่าเชื้อด้วยแก๊ส Ethylene Oxide หรือ EtO* ซึ่งเป็นแก๊สอุณหภูมิต่ำ แก๊สชนิดนี้ใช้ทำลายเชื้อจุลชีพบนอุปกรณ์ที่ทนความร้อนไม่ได้ เช่น พลาสติก แต่ก็ต้องใช้เวลาในการฆ่าเชื้อประมาณ 36 ถึง 48 ชั่วโมง ซึ่งมากกว่า Steam Sterilization (ทำให้ปราศเชื้อด้วยไอน้ำ) 

กระบวนการนี้จะทำงานที่อุณหภูมิ  49-60 ˚C ความชื้นสัมพัทธ์ระหว่าง 50% ถึง 90% และใช้ความเข้มข้นของแก๊สไม่ต่ำกว่า 450 มิลลิกรัมต่อลิตร ถ้าใช้แก๊สที่ความเข้มข้นมากขึ้น หรือทำงานที่อุณหภูมิสูงขึ้น จะทำให้ลดเวลาในกระบวนการฆ่าเชื้อให้น้อยลงได้

*แก๊ส EtO เป็นแก๊สพิษ ไม่มีสี ที่ความเข้มข้นต่ำจะไม่มีกลิ่น ถ้าความเข้มข้นมากกว่า 3% จะเกิดระเบิดได้ แก๊สนี้จะแทรกซึม และแพร่กระจายทั่วอุปกรณ์อย่างรวดเร็ว โดยไม่กัดกร่อนพลาสติก หรือยางให้เสื่อมสภาพ